紫外臭氧清洗機
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紫外臭氧清洗機(UVOzone Cleaner, UVO),是一種簡單,經濟,快速高效的材料表面清洗設備,能快速去除大多數無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)表面上的有機污染物。
更新時間:2021-04-16 10:28:48
CIF紫外(wai)臭氧清(qing)洗機采用(yong)長壽命UV石英(ying)低壓汞蒸汽格柵燈,樣(yang)品臺高度可(ke)調并可(ke)選配加熱控溫功能,以(yi)達到z佳清洗效(xiao)果(guo)。
按鍵式紫外臭氧清洗(xi)機
觸屏式(shi)紫外臭氧清洗機
產品特點
v UVO基礎型(xing)采(cai)用可編程數字控制器,設置操(cao)作(zuo)簡(jian)單方便,四鍵操(cao)作(zuo)控制。UVOP和UVOT系列采(cai)用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間(jian)及加熱溫度。
v 自動補償功能(neng),自動恒定(ding)光(guang)強光(guang)密(mi)度,不會因為(wei)低壓汞燈老化光(guang)強衰減(jian)影響清洗效果(guo)。
v 數字倒計時(shi)(shi)顯示清洗時(shi)(shi)間,1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。
v 可隨時(shi)手動中斷處理過程(cheng)。
v 自動記(ji)錄之前清洗參數設置。
v 樣(yang)品臺可控(kong)溫(可選(xuan)),控(kong)溫范圍RT-260℃,控溫精度0.1℃。
v 頂置(zhi)下壓式鉸(jiao)鏈開關蓋方(fang)式,操作簡(jian)單(dan)方(fang)便。
v 上(shang)置式樣品(pin)臺設計(ji),360度自由放置樣品,操作方便。
v 樣品(pin)臺高(gao)(gao)度可(ke)調,通過調節燈(deng)與樣品(pin)之(zhi)間的間距,可(ke)以合理定位(wei)樣品(pin)高(gao)(gao)度和(he)位(wei)置,并可(ke)鎖定。
v UV石英低壓(ya)汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小(xiao)時。
v 高強度UV燈源,波長185nm和254nm。
v UV反射罩(長x寬)比UV格(ge)柵(zha)燈大2.5cm,比如規格(ge)為13x13cm格(ge)柵(zha)燈反射罩尺(chi)寸(cun)大于15×15cm。
v 雙重安全保護,當(dang)清洗腔(qiang)打開時,系統安全鎖會關(guan)掉UV燈,并有燈光通斷提示。
v 帶(dai)進(jin)&出氣口雙氣路設計,可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產量。
v UVO5可選外(wai)(wai)置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可選外(wai)(wai)置或者內(nei)置臭氧中和器,用于臭氧清除。
v 可根(gen)據客戶(hu)要求定制(zhi)鋁或石(shi)英材(cai)料真空反應腔。
技術參數
產品型號 | UV燈(deng)尺(chi)寸cm | 樣品臺高度(du)cm | 主機(ji)重(zhong)量(liang)kg | 外(wai)型尺寸(LxWxH)cm |
UVO5/UVO5P/UVO5T | 13x13 | 5cm內可(ke)調 | 6 | 31x26x20 |
UVO9/UVO9P/UVO9T | 23x23 | 5cm內可(ke)調 | 12.5 | 60x50x20 |
UVO13/UVO13P/UVO13T | 33x33 | 5cm內可調(diao) | 18.5 | 70x60x20 |
注: UVO基(ji)礎型樣品臺不帶加熱(re)功能,樣(yang)品臺高(gao)度可調;UVOP可選配樣品臺加熱功能,樣品臺(tai)高度可調;
UVOT標配樣品臺加熱功(gong)能,樣(yang)品臺(tai)高度可調。